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在光刻机市场上，最近十多年来ASML公司一直是一家独大，EUV光刻机更是独一份，而传统的光刻机大厂日本佳能、尼康已经被甩开。不过，尼康已经制定策略，将重点放在3D光刻机领域。据报道，日本尼康公司提出新的目标，希望2025财年期间其光刻机销量能提升到2019-2021财年的2倍以上。尼康明年还将推出支持3D闪存、图像传感器的沉浸式ArF（氟化氩）光刻机，这也是未来销量翻倍的杀手锏。据了解，2020年全球光刻机销量 413 台，同比增长 15%，其中ASML销售258台占比 62%，佳能销售122台占比30%，尼康销售33台占比8%。

关键词： 3D光刻机 ASML