北方华创 lCP 刻蚀机 1000 腔交付仪式在亦庄基地隆重举行。

IT之家获悉，北方华创公司于 2001 年成立，开始组建团队钻研刻蚀技术，2004 年首台设备实现成功起辉，2005 年第一台 8 英寸 ICP 刻蚀机在客户端上线，并于 2007 年获得国家科学技术进步二等奖。

在集成电路领域获得突破的同时，北方华创在积极将刻蚀技术横向拓展，目前应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。12 英寸 ICP 刻蚀机在实现客户端 28nm 国产化替代同时，在 14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV 等工艺应用中也发挥着重要作用。

关键词： 集成电路 北方华创