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中证网讯（王珞）据必联网发布的中标结果公告显示，3月7日，嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）再次中标某公司的特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为万业企业旗下嘉芯半导体的子公司。

自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备，包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）等。

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